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Anti-Suck Back Valve

Anti-Suck Back Valve는 반도체, LCD, LED 등 진공과 관련된 공정설비에 장착되며 진공펌프의 정전이나 오작동 시 Powder, Particle 등 공정 중 생성되는 불순물의 Back Stream을 차단하여 설비의 오염을 미연에 방지시켜주는 장치입니다.

특허 제 10-0574686호

◈ Controller, Signal 없이 역압에 의한 작동
공정 진행 시 Vacuum Pump에 정전이나 오작동이 발생하게 되면 Chamber와 Vacuum Pump의 압력차에 의해 역압이 발생하게 됩니다.
Anti-Suck Back Valve는 이때 발생하는 역압을 이용하여 Corn이 수직상승 하고 역류하는 불순물을 차단하는 방법으로 Controller와 Signal과 같은 별도의 추가 장치가 필요 없습니다.

◈ 소재의 경량화로 가볍고 쉬운 설치
Aluminum의 소재로 가볍고 ISO Flange (KF,MF)Type으로 설계되어 배관에 장착이 용이하고 쉽습니다.

◈ 빠른 반응속도
Anti-Suck Back Valve는 역압이 발생하는 순간 0.3초 이내의 속도로 반응하여 역류하는 불순물을 빠르게 차단해 줍니다.

◈ 내부식성에 우수한 표면처리
내부식성에 우수한 Coating의 표면처리로 Powder의 흡∙증착과 부식을 방지합니다.

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Metal(LL/TM), CVD(LL/TM), Etch(LL/TM), DIFF, IMP

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Material: Aluminum                                                                                                                                                                      (Unit: mm)

Size Flange Type ØA ØB C
NW25 KF 65 40 65
NW40 KF 81.5 55 73.2
NW50 KF 108.3 75 88
NW63 KF, MF 135 95 105
NW80 KF, MF 155 110 116
NW100 KF, MF 180 134 116
NW125 MF 214 155 132.4
NW160 MF 250 180 148.4

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