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3Way Heater Valve

3Way Heater Valve는 반도체, LCD, LED 등 진공과 관련된 Pump와 Scrubber 사이 Process 및 By-pass 배관에 장착하여 Valve 몸체를 직접 가열하는 방식으로 By-product 고형화를 억제해주고 세정, PM 주기를 연장해주는 효율적인 제품입니다.

◈ By-product 생성 및 고형화 억제 3Way Heater Valve는 몸체에 직접가열 방식으로 By-Product 고형화 억제에 효과적입니다.

◈ PM 주기 연장 By-Product 고형화를 억제하여 막힘으로 인한 Pressure 상승 및 고장을 방지시켜주므로, 기존 일주일 이내였던 PM 주기를 3개월 이상으로 연장할 수 있습니다.

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