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TRAP

TRAP은 반도체, LCD, LED 등 진공과 관련된 공정설비 Pump 전/후단 등에 장착하여 Powder를 포집하는 장치입니다.
Powder가 다량으로 생성되는 공정에 효율적이며 Powder의 누적으로 인한 Pump, Scrubber의 Damage를 최소화시켜줍니다.

특허 (반도체 반응부산물 Trap외 6건)

◈ 온도 유지
Heater, Cooling Line을 이용하여 Powder 포집에 적합한 온도 대역을 유지하므로 Powder 포집에 효율이 높습니다.

◈ Pump Damage 최소화 (Fore Line Trap)
Chamber에서 Pump 사이의 Powder를 포집하여 Pump의 Damage를 최소화하므로 Pump의 효율이 증대됩니다.

◈ Scrubber Damage 최소화 (Exhaust Line Trap)
Pump에서 Scrubber 사이의 Powder를 포집하여 Scrubber의 Damage를 최소화하므로 Scrubber의 효율이 증대됩니다.

TRAP_bna01

Metal, DIFF, CVD, IMP

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