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Inner Heater

Inner Heater는 반도체, LCD, LED 등 진공과 관련된 공정설비 배관 내부에 삽입하는 Heating 장치입니다. 공정 중 남은 폐가스가 기체에서 고체(Powder)로 형성되어 배관 내부가 막히는 것을 방지하는 장치입니다.

특허 제 10-0967395호

◈ 배관 내부 Gas 온도 기준 Heating Inner Heater는 배관 내 T/C Sensor가 삽입되어 외부온도 기준의 Heating이 아닌 배관 내부 Gas 온도를 기준으로 Heating 하여 Powder 형성 억제에 효율이 높습니다.

◈ 안전성 Inner Heater는 S-마크를 인증받은 제품으로 안전성이 뛰어납니다.

◈ 맞춤형 설계 Inner Heater는 Spring Coil의 형식으로 굴곡진 부분도 설치할 수 있으며, 배관 Size에 맞추어 설계가 가능합니다.

◈ PM 주기 연장 Inner Heater를 적용하면 평균 30일 이내였던 PM 주기를 180일 이상으로 연장시켜 생산성 효율 향상 및 인력운용 효율을 극대화할 수 있습니다.

Inner Heater_bna01

Inner Heater_bna02

반도체, LCD, LED 등 진공과 관련된 공정설비 배관 내부에 Powder가 증착/형성되어 압력의 상승이나 막힘 등의 위험이 발생할 수 있는 모든 공정에 적용 가능

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